[7p-PB4-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[7p-PB4-1] Si/B添加β-FeSi₂/Si多結晶積層構造における1.5 μm発光の面内分布評価

〇池田 修哉¹、瀬戸島 健太¹、扇 和也¹、岡 直大¹、寺井 慶和¹ (1.九工大学情報工)

キーワード：鉄シリサイド、PL、電気特性