PDF ダウンロード スケジュール 17 いいね！ 0 コメント (0) 15:00 〜 15:15 △ [20p-B11-5] ターゲット利用率向上 を目的とした回転迷路型 RF マグネトロンスパッタ装置の開発 とその評価 〇田中 黎1、大津 康徳1、中嶋 崇博1 (1.佐大院工) キーワード：スパッタリング、成膜、ターゲット利用率
