[D28-32] パルスラジオリシス

[D28] Study on poly(4-hydroxystyrene) by using pulse radiolysis

^〇Takuya Ishida¹, Kazumasa Okamoto¹, Hiroki Yamamoto², Takahiro Kozawa², Ryoko Fujiyoshi¹, Kikuo Umegaki¹ (1.Hokkaido University, 2.Osaka University)

Keywords:pulse radiolysis, resist, polymer

固体状態でのポリ(4-ヒドロキシスチレン)(PHS)の反応を推定するため、高濃度PHS溶液中でのパルスラジオリシスを行った。PHS濃度の増加とともにPHSラジカルカチオンからの脱プロトン反応が遅くなった。40~45wt%の間でシクロヘキサノン溶液の粘度が特に大きく変化し、この濃度の前後で脱プロトンの反応速度が大きく変化することが明らかとなった。