[J39-42] 低温検出器

[J39] マッシュルーム型吸収体TES型マイクロカロリメータの特性評価

^〇江崎翔平¹, 前田亮¹, 伊豫本直子¹, 前畑京介¹, 原徹², 満田和久³, 山崎典子³, 田中啓一⁴, 山中良浩⁵, 伊藤琢司⁵ (1.九大, 2.物材機構, 3.JAXA, 4.日立ハイテクサイエンス, 5.大陽日酸)

キーワード：超伝導転移端センサ, マイクロカロリメータ

膜厚0.5μmと5μmのマッシュルーム型吸収体を持つ1ピクセル超伝導転移端センサ(TES)型マイクロカロリメータを作製した.
それぞれのTES型マイクロカロリメータを用いてX線照射実験を行い,特性を評価した.