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[2D09] 半導体メモリーのミューオン誘起シングルイベントアップセットシミュレーション
キーワード:ソフトエラー、シングルイベントアップセット、PHITS、ミューオン
数MeV正・負ミューオン照射加速試験のため、単純有感領域モデル及び粒子輸送計算コードPHITSを用いて、設計ルール65 nmのBulkデバイスにおけるミューオン誘起シングルイベントアップセット(SEU)の発生予測シミュレーションを行い、SEUを観察するための適切な照射エネルギーを決定した。また、SEUシミュレーションにおけるエネルギーストラグリングの影響を調査し、エネルギーストラグリングを考慮することにより考慮しない場合と比べ、ミューオンによるSEU数が増加することを確認した。