[2C05-09] ビーム利用・計測

[2C06] 核反応分析法を用いたホウ素分析法の開発

*遠山 翔¹、松山 成男¹、三輪 美沙子¹、邵 以寓¹ (1. 東北大)

キーワード：イオンビーム、イオンビーム分析、核反応分析、ホウ素分析

ホウ素は、微量（数ppm）でも半導体デバイスの特性に大きな影響を与えることが知られている。イオンビーム分析法の一つであるラザフォード後方散乱分析（RBS）法は、分析サンプルの成分や層構造を非破壊で評価することができるが、通常RBS法では重元素母体中に存在する軽元素の分析が困難である。そこで、670keV付近に共鳴を有する10B(p,α)8Beの核反応分析法を組み合わせたホウ素の定量分析法の開発を目指した。本実験は東北大学ペレトロン加速器及びイオンビーム分析チャンバを用いて実験を行い、核反応により生じたα線を半導体検出器により検出した。ホウ素注入量の異なる標準試料用いて検量線を作成することによって、微量ホウ素の分析が可能となった。