11:20 〜 11:30
[4F1-15] 量子化学計算によるCVD法におけるSi結晶成長のinterdimer反応機構の解析
口頭A講演
PC接続時間：10:50～11:00
キーワード：分子軌道法、遷移状態理論、表面反応
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