[K206-2vn] 20. 材料化学―基礎と応用【会場変更】K206→K501

[K206-2vn-11] マイクロ波液中プラズマ法によるホウ素ドープダイヤモンド膜の大面積化

^○久保田 侃昌^1,2、上塚 洋^2,3、佐藤 進⁴、鈴木 孝宗²、寺島 千晶^1,2 (1. 東京理科大学院理工学研究科、2. 東京理科大学スペースシステム創造研究センター、3. 旭ダイヤモンド工業株式会社、4. 埼玉工業大学工学部)

［言語］日本語

キーワード：ホウ素ドープダイヤモンド、化学気相成長法、プラズマ、マイクロ波液中プラズマ法