PDF ダウンロード スケジュール 4 14:40 〜 14:50 [4B4-35] CVD法によるB/C/N系ナノシートの作製 01.口頭A講演 ○粟井 誠敏・川口 雅之 (阪電通大) PC接続時間:14:30~14:40 キーワード:ホウ素/炭素/窒素材料、ナノシート、化学気相蒸着法、膜厚