[1PA-167] プラズマ原子層プロセシングにおけるアセチルアセトン-酸化ニッケル表面反応のab initio DFT計算
ポスター
キーワード：表面反応、酸化ニッケル、アセチルアセトン、ab initio DFT計算、ドライプロセス
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アカデミック・プログラム（AP）［ポスター］
錯体化学・有機金属化学
2019年3月16日(土) 10:00 〜 11:30 P (講堂兼体育館 (1F) アリーナ)
発表時間：奇数番号10:00-10:45 / 偶数番号 10:45-11:30
キーワード：表面反応、酸化ニッケル、アセチルアセトン、ab initio DFT計算、ドライプロセス
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