S14.マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
Wed. Mar 27, 2019 10:30 AM - 12:00 PM K会場 (吉田南総合館共北37)
座長:北本 仁孝(東京工業大学)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には，薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成，評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．
10:30 AM - 10:45 AM
〇Ryutaro Miura1, Atsushi Kitada1, Kazuhiro Fukami1, Kuniaki Murase1 (1. Kyoto Univ.)
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10:45 AM - 11:00 AM
〇Takayuki Koyama1, Masanobu Izaki1 (1. Toyohashi university of technology)
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11:00 AM - 11:15 AM
〇Shota Inoguchi1, Atsushi Kitada1, Kazuhiro Fukami1, Kuniaki Murase1 (1. Kyoto University)
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11:15 AM - 11:30 AM
〇Ryosuke Moriyasu1, Takashi Yanagishita1, Masuda Hideki1 (1. Tokyo Metropolitan Univ.)
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11:30 AM - 11:45 AM
〇Naoto Shirano1, Takashi Yanagishita1, Hideki Masuda1 (1. Tokyo Metropolitan Univ.)
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11:45 AM - 12:00 PM
Yuma Sato1,2, 〇Koshikawa Hiroshi1, Shunya Yamamoto1, Masaki Sugimoto1, Shin-ichi Sawada1, Tetsuya Yamaki1,2, Yasunari Maekawa1 (1. National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology, 2. Gunma University)
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