2021電気化学秋季大会

講演情報

S13/S8会場

S13. 電子材料及びナノ機能素子

セッション3(特別講演2)

2021年9月8日(水) 13:30 〜 15:00 I会場(S13/S8) (E307)

座長:八重 真治(兵庫県立大学)

主催:電子材料委員会

14:15 〜 15:00

[1I08] 集積回路配線金属薄膜表面の防食層のエリプソメトリその場解析

〇近藤 英一1 (1. 山梨大学)