Time-of-Flight Technology for Environmental, Material Science, and Semiconductor Applications

講演情報

Oral Presentation

3.Pulsed Sputtering and HiPIMS

2024年7月4日(木) 10:40 〜 12:30 Room O (Science Hall)

11:50 〜 12:10

Marleen Vetter¹, *Marc Gonin¹, Carla Fege¹, Seiichi Shimizu², Abdel Bensaoula¹ (1. TOFWERK, Thun, Switzerland, 2. TOFWERK, Japan)

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