Environmental temperature sputtering by magnetic mirror-type magnetron cathode

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

2024年7月3日(水) 17:40 〜 19:10 Room P (Atrium)

17:40 〜 19:10

*Taisei Motomura¹, Kenshin Takemura¹, Toshimi Nagase¹, Nobutomo Morita¹, Wataru Iwasaki¹, Naoki Matsuda¹, Tatsuo Tabaru¹ (1. AIST)

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