Effect of discharge pulse length on GaN thin films by high-density convergent plasma sputtering device

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

2024年7月3日(水) 17:40 〜 19:10 Room P (Atrium)

17:40 〜 19:10

Itsuki Misono¹, *Taisei Motomura², Masato Uehara², Tatsuo Tabaru², Tetsuya Okuyama^1,3 (1. NIT, Kurume College, 2. AIST, 3. Kyushu Univ.)

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