ISSP2024

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

Poster Session P4

2024年7月4日(木) 17:40 〜 19:10 Room P (Atrium)

17:40 〜 19:10

[P4-10] Evaluation of gas rarefaction phenomenon from discharge delay time in deep oscillation magnetron sputtering

*Eisuke Yokoyama1, Yuki Nakagawa1, Hiroki Kobayashi1, Nobuo Nishimiya1, Masaomi Sanekata1, Masahide Tona2, Hiroaki Yamamoto2, Keizo Tsukamoto2, Kiyokazu Fuke3, Keijiro Ohshimo4, Fuminori Misaizu4 (1. Tokyo Polytechnic University, 2. Ayabo Corporation, 3. Kobe University, 4. Tohoku University)

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