Air-based Sputtering deposition of Titanium Nitride, Oxynitride and Oxide Films with Gradient and Multilayer Architecture

講演情報

Poster Presentation

Poster Session

2024年7月5日(金) 12:40 〜 14:40 Room P (Atrium)

12:40 〜 14:40

*Xin-Xian Yang¹, Fu-Hsing Lu¹ (1. Department of Materials Science and Engineering, National Chung Hsing University)

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