ISSP2024

講演情報

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Oral Presentation

2.Sputtering and Plasma Process Technologies

Oral Session SP1

2024年7月4日(木) 13:40 〜 15:20 Room O (Science Hall)

15:00 〜 15:20

[SP1-04] Massive nitrogen supersaturation to AISI316 substrate via RF/DC plasma immersion

*Tatsuhiko Aizawa1, Tatsuya Fukuda2 (1. Surface Engineering Design Laboratory, Shibaura Institute of Technology, 2. Tokai Engineering Service, Co., Ltd.)

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