<strong>Fifty shades of TiN: How deposition conditions influence the growth morphology and thereby hardness and especially fracture toughness</strong>

10:15 〜 11:00

[Thu-H1-1K] Fifty shades of TiN: How deposition conditions influence the growth morphology and thereby hardness and especially fracture toughness

*Paul H. Mayrhofer¹, Rainer Hahn¹, Balint Hajas¹, Alexander Kirnbauer¹ (1. TU Wien (Austria))

キーワード：TiN, deposition conditions, hardness, fracture toughness, growth morphology

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