IVC-22

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Poster Session

Poster Session (17:00-18:30)

[Tue-PO1A] Poster Session (17:00-18:30) Category A

2022年9月13日(火) 17:00 〜 18:30 Poster A (Main Hall)

[Tue-PO1A-7] Award Applied
Extraction characteristics of a DC reactive magnetron sputtering plasma source using Ar - H2O plasma

*Allen Vincent Barabona Catapang1, James Edward II Hernandez1, Magdaleno Jr Vasquez2, Motoi Wada1 (1. Doshisha University (Japan), 2. University of the Philippines - Diliman (Philippines))

キーワード：Reactive Magnetron Sputtering, Water Vapor Plasma, Zinc Oxide

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