Deposition of ZnO films via RF magnetron sputtering using uniaxially-pressed powder target

15:00 〜 15:15

[Wed-G1-6] Deposition of ZnO films via RF magnetron sputtering using uniaxially-pressed powder target

Rozen Grace Madera¹, *Magdaleno Jr Vasquez¹ (1. University of the Philippines (Philippines))

キーワード：Thin Films, Zinc oxide

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