IVC-22

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Poster Session

Poster Session (12:30-14:00)

[Wed-PO1D] Poster Session (12:30-14:00) Category D

2022年9月14日(水) 12:30 〜 14:00 Poster D (Main Hall)

[Wed-PO1D-11] Deposition of zinc nitride film by a sheet plasma device

*Hirotaka Tatematsu1, Yoshiyuki Matsui1, Motoi Wada1 (1. Graduate School of Science and Engineering Doshisha University (Japan))

キーワード：Sheet plasma, zinc nitride

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