Schedule 1 2:45 PM - 3:30 PM [P11-08] 大気圧プラズマにより表面活性化した極薄Au薄膜による大気中常温ウェハ接合 〇山本 道貴1,2、松前 貴司2、倉島 優一2、高木 秀樹2、三宅 敏広3、須賀 唯知4、伊藤 寿浩1、日暮 栄治2,4 (1. 東京大学大学院 新領域創成科学研究科、2. 産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター、3. 株式会社デンソー 基盤ハードウェア開発部、4. 東京大学大学院 工学系研究科) Abstract password authentication.Password is required to view the abstract. Please enter a password to authenticate. Password Authentication
