[G] 気相プロセス・薄膜･厚膜作製技術・表界面反応･分析

[412] (Cr,Al)酸化物コーティングの硬さに及ぼす成膜条件の影響

*市川 大樹¹、安藤 大輔²、須藤 祐司² (1. 東北大工（院生）、2. 東北大工)

キーワード：硬質コーティング、酸化物、高硬度、耐熱性、薄膜

（Cr,Al)酸化物コーティングの成膜条件による硬度、組織の変化および熱的安定性を調査した。