[G] Dry Process, Thin- and Thick-Film Production, Surface and Interface Reaction, Surface Analysis

[415] プラズマ・ガス凝縮法で作製したＦｅ－Ｃｏ－Ｐｔ複合ナノ粒子の磁気的性質

*KONDO Yusuke¹, HIHARA Takehiko², REONA Miyazaki² (1. 名工大工（院生）、2. 名工大工)

Keywords:気相合成、スパッタリング法、ナノ粒子、ナノコンポジット磁石、熱処理

Fe－Co－Pt系の複合堆積膜をプラズマ・ガス凝縮法で作製しナノコンポジット磁石の作製を試みた。Ｆｅ－Ｐｔ系と比べ低い温度で規則化が促進され、また高い磁気特性が得られたことからＣｏの添加は有用だとわかった。