[G] 気相プロセス・薄膜･厚膜作製技術・表界面反応･分析

[421] CrSiCN複合膜の機械的性質と組織に及ぼす大気中熱処理の影響

*櫻井 亨彦¹、竹本 寛太²、土屋 大樹¹、李 昇原¹、松田 健二¹、池野 進³、野瀬 正照³ (1. 富山大、2. 富山大（現：三協立山株式会社）、3. 富山大学名誉教授)

キーワード：CrSiCN、複合膜、熱処理、SiC

反応スパッタ法により作製されたCrSiCN複合膜が30GPa～40GPa程度の硬さを示し,CrN膜よりも高い耐酸化性を有することを報告した.そこで,本研究では熱処理がCrSiCN複合膜の機械的性質や構造に及ぼす影響を調査した.