[G] 触媒･湿式表面処理･湿式めっき

[437] 無電解プロセスを利用したSiC基板上へのPd微粒子触媒の担持とNi-Pめっき膜の形成

*藤居 稜¹、松本 歩²、福室 直樹²、八重 真治² (1. 兵庫県立大工（院生）、2. 兵庫県立大工)

キーワード：無電解置換析出、無電解Ni-Pめっき、光電気化学、シリコンカーバイド、パワーデバイス

次世代半導体材料としてSiCが注目されている．本研究では，無電解プロセスのみでSiC基板上に金属電極を形成することを目的とし，Pd微粒子の無電解置換析出およびこれを触媒とした無電解Ni-Pめっき膜の形成を試みた．