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[P118] 斜入射スパッタリング法により作製したWO3薄膜の微細構造とエレクトロクロミック特性
キーワード：スパッタリング、斜入射堆積法、WO3、エレクトロクロミック
斜入射スパッタリング法により酸化タングステン(WO3)膜を作製し，膜構造と光学特性および色変化時間において平滑なWO3膜と比較することを目的とする．
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