[P] 3.組織

[P55] 高強度Ni-Wナノ結晶/アモルファス電析合金を用いたマイクロギアの作製

*外園 春樹¹、内海 裕一³、山﨑 徹² (1. 兵庫県立大工（院生）、2. 兵庫県立大工、3. 兵庫県立大高度研)

キーワード：nanocrystalline、amorphous、Ni-W、LIGA process、electrodeposition

精密小型機器の分野において、高強度Ni-W合金を用いて、実用化が可能なマイクロ部材を開発することを目的とし、金属製マイクロギアを作製した。それら部材の寸法精度や材料強度等の評価を行った。