[P] P122~P125

[P122] Effect of stacking order on mechanical properties of multilayer DLC films

*Koki OKADA¹, Akio NISHIMOTO¹ (1. Kansai university)

Keywords:ダイヤモンドライクカーボン、多層化、積層順、摩擦係数

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は、表面コーティング材料のなかでもその優れた性質から注目を集めている。そこで本研究では、積層順を変化させ交互に積層したDLC膜の機械的特性などを比較調査した。