[P] P122~P125

[P124] TiとSPCCの二重スクリーンを用いたアクティブスクリーンプラズマ窒化処理

*濱島 隼¹、西本 明生² (1. 関西大学(院生)、2. 関西大学)

キーワード：アクティブスクリーンプラズマ窒化処理、プラズマ窒化処理、表面改質処理、TiNコーティング

低炭素鋼S15Cに対して、TiとSPCCの異種材料の二重スクリーンを用いたASPN処理を行った。処理ガスを変化させ、分析結果を比較した。その結果、ガス組成によって堆積物の皮膜や窒化層が異なっていた。