[P] P109~P113

[P110] 3Dシードを導入したNd-Fe-B薄膜の垂直磁気異方性に与えるNd-Fe-B堆積温度の影響

*古澤 皐平¹、小池 邦博¹、加藤 宏明¹、稲葉 信幸¹、古賀 詩悠²、板倉 賢²、齋藤 佑³、大久保 晋³、太田 仁³ (1. 山形大院理工、2. 九大総理工、3. 神戸大分子フォト研)

キーワード：Nd₂Fe₁₄B薄膜、3Dシード、保磁力、ポストアニール、垂直磁気異方性

3Dシードを導入したNd-Fe-B層の堆積温度の上昇は，ポストアニールで結晶化するNd₂Fe₁₄B結晶粒のc軸垂直配向を促進し，垂直磁気異方性を増大することが明らかとなった．