[P] P3~P6

[P5] 赤外レーザーアニールしたNd-Fe-B/Mo/FeCoナノコンポジット積層膜の磁気特性

*内田 徳之助¹、小池 邦博¹、加藤 宏朗¹、稲葉 信幸¹、板倉 賢²、齋藤 佑³、大久保 晋³、太田 仁³、櫻井 慧歩¹、原 茂雄³ (1. 山形大院理工、2. 九大総理工、3. 神戸大分子フォト研)

キーワード：Nd₂Fe₁₄B/Mo/FeCo積層膜、保磁力、赤外レーザーアニール、ナノコンポジット磁石

赤外レーザーアニールによる急速結晶化過程においても，単原子厚さ程度のMo中間層の導入がNd-Fe-B層とFeCo層間の熱原子拡散を抑制し，ナノコンポジット積層膜のハード磁性向上に寄与することが明らかとなった．