[S2] 機能コアの材料科学Ⅰ(1)

[S2.5] その場TEM機械試験用荷重負荷MEMSデバイスに供する試料作製法の検討

*曹 旻鑒¹、栃木 栄太^1,2、佐藤 隆昭³、柴田 直哉^1,4、藤田 博之⁵、幾原 雄一^1,4,6 (1. 東大総合、2. PRESTO、3. ペンシルベニア大、4. JFCC、5. 東京都市大、6. 京大ESISM)

キーワード：その場、TEM、MEMS、その場観察、欠陥

MEMSデバイスを利用したその場機械試験システムを開発し，本MEMSデバイスを用いたその場TEM機械試験に供するための試験片作製方法を検討した．