日本金属学会2020年秋期(第167回)講演大会

講演情報

技術セミナー

[LS8] 株式会社東陽テクニカ

2020年9月18日(金) 12:05 〜 12:45 C会場 (ZoomC会場)

12:05 〜 12:45

[LS8] ナノインデンテーションの概要と微細構造の硬度の可視化、およびGaフリーFIBのご紹介

*岩田敏一1 (1. 株式会社東陽テクニカ)

キーワード:ナノインデンテーション, 硬度, ヤング率,ナノスケールキャラクタリゼーション, XeプラズマFIB

ナノインデンテーションの概要と微細構造の硬度の可視化、およびGaフリーFIBのご紹介

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