[G] 表面・界面・触媒

[272] 塩化金酸水溶液をインクとしたプラズマ援用インクジェットプロセスによる金細線の描画

*新田 魁洲¹、石角 健¹、清水 禎樹²、寺嶋 和夫^1,2、伊藤 剛仁^1,2 (1. 東大、2. 産総研)

キーワード：プラズマ、インクジェット、金、プリンテッドエレクトロニクス

大気圧非平衡プラズマを援用したインクジェットプロセスによって、塩化金酸溶液から基板上に金細線を描画した。プラズマの高い反応性の寄与により、低温(基板温度70℃以下)かつ高速(1分以下)な描画が達成された。