金属ガラスリボン前処理で用いる基板の検討とその考察

14:30 〜 14:45

[355] 金属ガラスリボン前処理で用いる基板の検討とその考察

*達久将成^1,3、矢代航²、加藤秀実³ (1. 東北大工、2. 東北大多元研、3. 東北大金研)

キーワード：金属ガラス、Imprint加工、Pre-Imprint処理

Pre-Imprint処理は一度過冷却液体領域まで加熱しないといけないため，熱履歴に大きな影響を受ける．本研究では，実際にPre-Imprint処理を行い，基板変化によるリボンの平坦/熱履歴/相状態を確認し評価を行った．

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