日本金属学会 2020年春期(第166回)講演大会

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Poster Session

5.Materials Chemistry » Materials Chemistry

[P] 5.材料化学

Tue. Mar 17, 2020 3:00 PM - 5:00 PM Poster Session (Centennial Hall)

[P125] Quantitative evaluation of stacking faults in epitaxial Cr (N,O) thin films

*IWASAKI Yusuke1, NAKAYAMA Tadachika1, SUEMATSU Hisayuki1, SUZUKI Tsuneo1 (1. Nagaoka University of Technology)

Keywords:Hard coating、Pulsed Laser Deposition、Chromium nitride、Epitaxial growth、Stacking faults

Cr(N,O)薄膜は積層不整を内在することにより高硬度化を実現した。積層不整の度合いを評価するため、酸素含有量が様々なエピタキシャルCr(N,O)薄膜のD51相をX線回折により評価した。

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