[P] P100、P115~P120

[P118] Pd添加酸化タングステン薄膜の光学的特性

*樋沢 美咲¹、瀧渡 拓哉²、野中 勝彦³、山口 明³ (1. 岩手大理工（院生）、2. 岩手大院（現：JR東日本）、3. 岩手大理工)

キーワード：水素、酸化タングステン、光学的特性、高周波マグネトロンスパッタリング、光透過率、薄膜

WO₃は、水素との反応によってH_xWO₃となり、それに伴って光透過率が変化する。本研究ではPdをドープしたWO_x薄膜を、高周波マグネトロンスパッタリング装置を用いて成膜し、光学的特性と構造解析を行った。