[G] 溶融・凝固プロセス 高温プロセス

[210] シリコン固液界面近傍の温度場測定

*前田 健作¹、辻田 蓮¹、荘 履中¹、森戸 春彦¹、藤原 航三¹ (1. 東北大金研)

キーワード：シリコン、固液界面、温度測定、融液成長

凝固過程の固液界面近傍の温度場について、理論的・定性的な考察は成されているが、実際の温度を計測することは難しい。本研究では２色放射温度計を用いて固液界面近傍の温度を可視化した。