[G] 電気・電子・光関連材料

[269] MIM構造における伝搬型表面プラズモン反結合モードのEELS測定

*板谷 健太郎¹、坂口 紀史²、國貞 雄治²、松尾 保孝³ (1. 北大工（院生）、2. 北大工、3. 北大電子科学研究所)

キーワード：伝播型表面プラズモン、表面プラズモン共鳴、正規モード分裂、STEM-EELS

本研究ではMIM(金属/絶縁体/金属)構造における伝播型表面プラズモンをEELSで実測し、SPP結合モードを直接観測することを試みた。金属層にAg、絶縁体層にSiO₂あるいはAl₂O₃を挟み込んだ構造でEELS測定を実施した。