[G] 表面・界面・触媒(2)

[71] 高温下におけるCrN-SiCN複合膜と高速度鋼基板の反応

*伊藤 太一¹、櫻井 亨彦²、土屋 大樹³、李 昇原³、松田 健二³、池野 進⁴、野瀬 正照⁴ (1. 富山大理工（院生）、2. 富山大（現：不二越株式会社）、3. 富山大、4. 富山大名誉教授)

キーワード：CrN-SiCN複合膜、耐熱性、透過型電子顕微鏡

HSS鋼基板上に成膜したCrN-SiCN複合膜が大気中熱処理により, 大幅な劣化が起こることを確認した。広範囲な組成比のCrN-SiCN複合膜およびSiCN膜を作製し, 熱処理による硬さの低下とその原因について調査した。