[S7] S7 水素エネルギー材料IX (2)

[S7.17] スパッタリング法により成膜したAl-Fe薄膜中の水素

*山本 春也¹、齋藤 寛之^1,2、田口 富嗣¹、内海 伶那^1,2、綿貫 徹^1,2、八巻 徹也¹ (1. 量研、2. 兵庫県立大)

キーワード：水素、Al、Fe、薄膜

原子数比でAl：Fe＝76 : 24の混合粉末焼結体ターゲット用いてスパッタリングにより成膜したAl-Fe薄膜中の水素分布をイオンビーム分析法で調べた．その結果、膜中に水素が吸蔵されることがわかった．