[S7] S7 Hydrogen Energy Materials - IX (2)

[S7.17] Hydrogen in Al-Fe thin films prepared by sputtering

*Shunya YAMAMOTO¹, Hiroyuki SAITOH^1,2, Tomitsugu TAGUCHI¹, Reina UTSUMI^1,2, Tetsu WATANUKI^1,2, Tetsuya YAMAKI¹ (1. QST, 2. Univ. of Hyogo)

Keywords:水素、Al、Fe、薄膜

原子数比でAl：Fe＝76 : 24の混合粉末焼結体ターゲット用いてスパッタリングにより成膜したAl-Fe薄膜中の水素分布をイオンビーム分析法で調べた．その結果、膜中に水素が吸蔵されることがわかった．