[P] P1~P4

[P4] 銀を触媒としたゲルマニウム薄膜の低温結晶化

*DENG XUHUI¹、弓野 健太郎² (1. 芝浦工大（院生）、2. 芝浦工大)

キーワード：半導体、MIC法、金属誘起結晶法、薄膜

本研究では、低温で金属誘起結晶法（MIC法）を用いて、Agを触媒として利用して結晶化させたGe薄膜をチャネル層とした電界効果トランジスタを作製し、組織観察と電気特性の評価を行った。