[G] 表面・界面・触媒

[112] イオン衝撃によるSm-Fe薄膜の面内応力制御

*神谷 柾人¹、片岡 竜一²、内田 貴大³、源馬 龍太³、松村 義人³ (1. 東海大(院生)、2. 東海大(学生)、3. 東海大)

キーワード：Sm-Fe、イオン衝撃、面内応力、スパッタリング、薄膜

本研究では、マグネトロンスパッタリング法により作製されたSm-Fe薄膜の面内応力を入射するイオンの運動量の大きさからイオン衝撃パラメータPiを用いて評価を試み薄膜の面内応力を制御することが可能か検討した。