[G] 表面・界面・触媒

[115] 双極子プラズマ窒化装置を用いたSUS304ステンレス鋼の窒化挙動に及ぼす圧力の影響

*前田 健太¹、中山 栄浩²、猿渡 直洋²、関谷 英治³、杉田 良雄³ (1. 山梨大(院生)、2. 山梨大、3. ワイエス電子工業)

キーワード：プラズマ窒化処理、S相、SUS304、双極子プラズマ窒化装置、XRD

双極子プラズマ窒化装置におけるプラズマ発生状態が同装置を用いた窒化処理に及ぼす影響ついて、窒化中における装置炉内の圧力調整を通して実験的に調査した。