[G] 分析・解析・評価

[309] STEMトモグラフィーによる転位の高速三次元観察

*趙 一方¹、鯉池 卓¹、仲間 陸人²、斉藤 光³、光原 昌寿³、村山 光宏^3,4、波多 聰³ (1. 九大（院生）、2. 九大（学生）、3. 九大、4. バージニア工科大学)

キーワード：STEM、電子線トモグラフィー、転位、ノイズフィルタリング、深層学習

本研究では、深層学習型のアルゴリズムであるU-Netを使用したノイズフィルタリングに基づく新しい手法を提案し、連続傾斜像の高速取得を実施し、STEMトモグラフィーを数秒レベルに高速化する実現性を検証した。