[S3] ナノ・マイクロスペーステイラリングV

[S3.6] アルミニウム基ナノ・マイクロ突起体の創成

*田中 俊一郎¹、小田 省吾² (1. 東北大μSIC、2. 東北大院 (YKKAP))

キーワード：励起反応場、ナノ・マイクロ突起体、アルミニウム合金、イオン照射

Gaイオン照射でアルミニウム基ナノ・マイクロ突起体構造を造成した。トップダウン効果の方が主になるが、イオン源を向く円錐体状突起がボトムアップ的に形成することができた。