[S3] ナノ・マイクロスペーステイラリングV

[S3.12] 高速重イオン照射したAl₂O₃の結晶格子間隔変化 -照射量依存性-

*石川 法人¹、近藤 啓悦¹、藤村 由希¹、小河 浩晃¹ (1. 原子力機構)

キーワード：イオン照射、サファイア、EBSD

Al₂O₃に対して、200 MeV Auイオンを照射した。EBSD（電子線後方散乱回折）分析装置を利用して、照射に伴う格子間隔変化を分析した。イオン照射に伴う歪みの発生量は、照射量の増加に伴い顕著になることが分かった